ພາບລວມຂອງຕົວຕ້ານທານແສງ
ໂຟໂຕຣີຊິດ, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າໂຟໂຕຣີຊິດ, ໝາຍເຖິງວັດສະດຸຟິມບາງໆທີ່ຄວາມລະລາຍຂອງມັນປ່ຽນແປງເມື່ອສຳຜັດກັບແສງ UV, ລຳແສງເອເລັກຕຣອນ, ລຳແສງໄອອອນ, ລັງສີເອັກ, ຫຼື ລັງສີອື່ນໆ.
ມັນປະກອບດ້ວຍຢາງ, ຕົວກະຕຸ້ນແສງ, ຕົວລະລາຍ, ໂມໂນເມີ, ແລະ ສານເຕີມແຕ່ງອື່ນໆ (ເບິ່ງຕາຕະລາງທີ 1). ຢາງໂຟໂຕຣີຊິດ ແລະ ຕົວກະຕຸ້ນແສງແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງໂຟໂຕຣີຊິດ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນເຄືອບຕ້ານການກັດກ່ອນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການພິມດ້ວຍແສງ.
ເມື່ອປະມວນຜົນໜ້າຜິວເຄິ່ງຕົວນຳ, ການໃຊ້ໂຟໂຕຣີຊິດທີ່ເລືອກໄດ້ຢ່າງເໝາະສົມສາມາດສ້າງຮູບພາບທີ່ຕ້ອງການຢູ່ເທິງໜ້າຜິວໄດ້.
ຕາຕະລາງທີ 1.
| ສ່ວນປະກອບຂອງສານຕ້ານແສງ | ປະສິດທິພາບ |
| ຕົວລະລາຍ | ມັນເຮັດໃຫ້ສານ photoresist ມີຄວາມຄ່ອງແຄ້ວ ແລະ ລະເຫີຍງ່າຍ, ແລະ ເກືອບບໍ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນສົມບັດທາງເຄມີຂອງສານ photoresist. |
| ຕົວເລີ່ມແສງ | ມັນຍັງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນໃນນາມຕົວເຮັດໃຫ້ຮູ້ສຶກໄວຕໍ່ແສງ ຫຼື ຕົວແທນເຮັດໃຫ້ແຂງຕົວດ້ວຍແສງ, ເປັນອົງປະກອບທີ່ຮັບຮູ້ແສງໃນວັດສະດຸ photoresist. ມັນເປັນສານປະກອບຊະນິດໜຶ່ງທີ່ສາມາດເນົ່າເປື່ອຍເປັນອະນຸມູນອິດສະຫຼະ ຫຼື cation ແລະ ເລີ່ມຕົ້ນປະຕິກິລິຍາເຊື່ອມຕໍ່ທາງເຄມີໃນໂມໂນເມີຫຼັງຈາກດູດຊຶມພະລັງງານແສງ ultraviolet ຫຼື ພະລັງງານແສງທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້ຂອງຄວາມຍາວຄື້ນທີ່ແນ່ນອນ. |
| ຢາງ | ມັນເປັນໂພລີເມີທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ແລະເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວຍຶດຕິດກັບວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນ photoresist ຮ່ວມກັນ, ເຮັດໃຫ້ photoresist ມີຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກ ແລະ ເຄມີ. |
| ໂມໂນເມີ | ມັນຍັງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນໃນນາມຕົວລະລາຍທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ, ເປັນໂມເລກຸນຂະໜາດນ້ອຍທີ່ມີກຸ່ມທີ່ມີໜ້າທີ່ທີ່ສາມາດໂພລີເມີໄດ້ ແລະ ເປັນສານປະກອບທີ່ມີນ້ຳໜັກໂມເລກຸນຕ່ຳທີ່ສາມາດມີສ່ວນຮ່ວມໃນປະຕິກິລິຍາໂພລີເມີໄຣເຊຊັນເພື່ອສ້າງຢາງທີ່ມີນ້ຳໜັກໂມເລກຸນສູງ. |
| ສານເຕີມແຕ່ງ | ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມຄຸນສົມບັດທາງເຄມີສະເພາະຂອງ photoresists. |
ຕົວຕ້ານທານແສງແບ່ງອອກເປັນສອງປະເພດຫຼັກໂດຍອີງໃສ່ຮູບພາບທີ່ພວກມັນສ້າງຂຶ້ນຄື: ບວກ ແລະ ລົບ. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຕ້ານທານແສງ, ຫຼັງຈາກການສຳຜັດ ແລະ ການພັດທະນາ, ສ່ວນທີ່ຖືກເປີດເຜີຍຂອງຊັ້ນເຄືອບຈະຖືກລະລາຍ, ເຮັດໃຫ້ສ່ວນທີ່ບໍ່ໄດ້ເປີດເຜີຍ. ຊັ້ນເຄືອບນີ້ຖືວ່າເປັນຕົວຕ້ານທານແສງບວກ. ຖ້າສ່ວນທີ່ຖືກເປີດເຜີຍຍັງຄົງຢູ່ໃນຂະນະທີ່ສ່ວນທີ່ບໍ່ໄດ້ເປີດເຜີຍຖືກລະລາຍ, ຊັ້ນເຄືອບຈະຖືກຖືວ່າເປັນຕົວຕ້ານທານແສງລົບ. ອີງຕາມແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ ແລະ ແຫຼ່ງລັງສີ, ຕົວຕ້ານທານແສງຍັງຖືກຈັດປະເພດຕື່ມອີກເປັນຕົວຕ້ານທານແສງ UV (ລວມທັງຕົວຕ້ານທານແສງ UV ບວກ ແລະ ລົບ), ຕົວຕ້ານທານແສງ UV ເລິກ (DUV), ຕົວຕ້ານທານແສງເອັກສ໌ເຣ, ຕົວຕ້ານທານແສງລຳແສງເອເລັກຕຣອນ, ແລະ ຕົວຕ້ານທານແສງລຳແສງໄອອອນ.
ໂຟໂຕຣີຊິດຖືກນຳໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນການປະມວນຜົນຮູບແບບລະອຽດໃນແຜງຈໍສະແດງຜົນ, ວົງຈອນລວມ, ແລະອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳແບບແຍກສ່ວນ. ເຕັກໂນໂລຊີການຜະລິດທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫຼັງໂຟໂຕຣີຊິດແມ່ນມີຄວາມສັບສົນ, ມີຫຼາກຫຼາຍປະເພດຜະລິດຕະພັນ ແລະ ລາຍລະອຽດ. ການຜະລິດວົງຈອນລວມຂອງອຸດສາຫະກຳເອເລັກໂຕຣນິກກຳນົດຂໍ້ກຳນົດທີ່ເຂັ້ມງວດກ່ຽວກັບໂຟໂຕຣີຊິດທີ່ໃຊ້.
ບໍລິສັດ Ever Ray ເປັນຜູ້ຜະລິດທີ່ມີປະສົບການ 20 ປີ ຊ່ຽວຊານໃນການຜະລິດ ແລະ ພັດທະນາຢາງທີ່ສາມາດຮັກສາດ້ວຍແສງໄດ້, ມີກຳລັງການຜະລິດ 20,000 ໂຕນຕໍ່ປີ, ມີສາຍຜະລິດຕະພັນທີ່ຄົບຖ້ວນ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການປັບແຕ່ງຜະລິດຕະພັນ. ໃນ photoresist, Ever Ray ມີຢາງ 17501 ເປັນສ່ວນປະກອບຫຼັກ.
